Firmennachrichten über Gasfüllsysteme: Funktionen, Klassifizierung und Kerngeräte
Bei Halbleitern, Lithiumbatterien und optoelektronischen Displays ist eine stabile Spezialgasversorgung die Grundlage für eine kontinuierliche Produktion.Das Gasspeichersystem die kritische Drehscheibe zwischen Gasquelle und Verwendungsort bestimmt unmittelbar die Sicherheit, Kontinuität und Reinheit.
Ein Gasfüllsystem lädt Industriegase in Zylinder oder Behälter unter angegebenem Druck, Temperatur und Reinheit ein.
| Anforderung | Beschreibung |
| Sicherheit | Strenge Kontrolle von Druck und Temperatur; Vermeidung von Überfüllungen und Fehlfüllungen |
| Gewährleistung der Reinheit | Entfernen Sie den Eintritt von Unreinheiten während des gesamten Füllzyklus |
| Präzisionsmessung | Genaue Füllmenge nach Gewicht oder Volumen nach nationalen Normen |
| Dauerbetrieb | Hochleistungs-Mehrzylinder-Lotzfüllung |
Auf der GrundlageDie Daten werden in der Tabelle aufgeführt., werden Industriegase nach physikalischem Zustand und chemischen Eigenschaften eingeteilt.
Schüttgase- übliche Gase mit hohem Volumen (O2, N2, Ar, H2, CO2, C2H2):
| Kategorie | Kritische Temperatur | Staat |
| Permanente Gase | < -10°C | Gasförmig |
| Hochdruckverflüssigt | -10°C bis 70°C | Flüssigkeit, verdunstet über der kritischen Temperatur |
| Aufgelöstes Acetylen | - Ich weiß. | Aufgelöst in einem Lösungsmittel unter Druck |
Spezialgase- hochreine, geringe Gasmengen für Elektronik und Spezialchemikalien:
mit einer Breite von nicht mehr als 20 mm,
Flüssig gemacht unter niedrigem Druck (> 70°C):
| # | Modul | Funktion |
| 1 | Verordnung über die Gasquellen | Einlass, Druckanpassung, stabilisierte Ausgabe |
| 2 | Füllhalter und -schubladen | Kern-Mehrzylinder-Parallelfüllvorrichtung |
| 3 | Messung und Steuerung | Gewichts-/Drucküberwachung, automatische Ventile, Sicherheitsschließungen |
| 4 | Sicherheitsschutz | Überdruckentlastung, Notschaltung, Leckerkennung |
| 5 | Reinigung und Filtration | Vorfüllgasreinigung |
| 6 | Abgasbehandlung | Rückgewinnung oder unbedenkliche Beseitigung von Restgas |
LadebandDie zentrale Ausführungseinheit aus elektropoliertem Edelstahl in EP-Klasse mit Verzweigungsventilen und speziellen Steckverbindern ermöglicht die gleichzeitige Befüllung von mehreren Zylindern.Sauerstoff, Wasserstoff, Argon und Spezialgasvarianten verwenden jeweils abgestimmte Materialien und Dichtungen.
Gas-Gängesystem Mehrfachzylindergruppen mit primärer/sekundärer Druckreduktion, die durch automatisierte Bankwechsel ununterbrochene Versorgung ermöglichen.
Druckregelventilgruppe- Verringert das Hochdruck-Quellgas auf den geplanten Fülldruck.Zulassung von Zwischenschirm-Reduktoren ist obligatorisch: mit einem Zwerchfell versiegelte Kammern beseitigen interne Kontamination und bewahren die für Halbleiteranwendungen kritische Reinheit auf ppb-Niveau.
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