CVD-Technologie: Der Eckpfeiler der F&E und Produktion neuer Materialien

Einleitung

Von dem Labor bis zur Massenproduktion dienen CVD-Geräte als Kernplattform für die Herstellung neuer Materialien.und von Photovoltaikzellen zu optischen Beschichtungen, beruhen alle diese Produkte auf derselben Technologie – chemische Dampfdeposition (CVD).Dieser Prozeß ist für das Wachstum funktioneller dünner Folien im atomaren Maßstab verantwortlich und ist der Schlüsselprozess, der es neuen Materialien ermöglicht, vom Labor zur Massenproduktion zu übergehen.

01 Was ist Herz-Kreislauf-Technologie?

Die CVD-Technologie ist ein Verfahren, bei dem gasförmige Vorläufer in eine Reaktionskammer eingeführt werden.bei denen sie bei Berührung mit der erhitzten Substratoberfläche chemischen Reaktionen unterliegen, um eine feste Folie oder Beschichtung abzulegenIm Gegensatz zu herkömmlichen Beschichtungsmethoden erfolgt der Filmbildungsprozess bei CVD Atom für Atom und ermöglicht eine präzise Kontrolle der Zusammensetzung, Dicke und Struktur des Films.Es ist nicht dasselbe wie physikalische Dampfdeposition (PVD): PVD setzt auf physikalische Mittel, um Material zu übertragen, während CVD auf chemische Reaktionen setzt, um Material zu erzeugen.

Die CVD-Dünnfolie-Produktionslinien für Halbleiterwafer sind ein Paradebeispiel für die groß angelegte Anwendung von CVD.

02 Warum sind Herz-Kreislauf-Erkrankungen der Schlüssel für die Forschung, Entwicklung und Produktion neuer Materialien?

1. Hohe Präzision

CVD kann Filme mit einer Dicke von nur wenigen Nanometern absetzen, was den strengen Anforderungen an die Gleichmäßigkeit der Filmmenge in Halbleitergeräten entspricht.

2Hohe Reinheit.

Als Beispiel nehmen wir elektronische Vorläufer: Die Reinheit muss den Bereich von 99,9999% erreichen, und die Verunreinigungskontrolle bestimmt direkt den Waferertrag.

3. Große Produktion

Die Produktion in großem Maßstab ist möglich. Spitzentechnische Materialien wie Graphen, Diamantfolien, Siliziumkarbid und Galliumnitrid setzen alle auf CVD als primären Herstellungsweg.Von 2-Zoll-Laborproben zu 12-Zoll-Massenproduktionswafern, CVD verfügt über die technische Fähigkeit, die Lücke zwischen FuE und Massenproduktion zu überbrücken.Leuchten, und fortschrittliche Beschichtungen, was sie zu einer Infrastrukturtechnologie für die Industrialisierung neuer Materialien macht.

03 Der CVD-Prozess beruht auf einem speziellen Gassystem

Shenzhen Wofly Technologie Spezialgassystemtechnik

Die in CVD verwendeten Reaktionsstoffe sind spezielle Gase wie Silan (SiH4), Ammoniak (NH3), Stickstoffmonoxid (N2O) und Hexafluorethan (C2F6).und Druckkontrolle bestimmen unmittelbar die Qualität der abgelagerten Folie und die ProduktionssicherheitEin komplettes Spezialgassystem besteht aus einem Spezialgasschrank (GC), hochreinen Rohren, Ventilen und Armaturen, Leckerkennung und Abgasbehandlung (Scrubber):Nach Druckregelung und Verriegelung im Spezialgasschrank, werden die Gase aus den Zylindern über hochreine Rohrleitungen an die Verarbeitungsanlagen geliefert; die Abgase der Reaktionsanlage werden dann vom Reinigungsgerät behandelt und gemäß den gesetzlichen Normen entsorgt.Da Gase wie Silan entzündlich und explosionsfähig sind,, muss das System mit einem Leckenalarm, einer Notschaltung und einer integrierten Abgaslüftung ausgestattet sein.

Spezielle Gaskammer (GC)

Shenzhen Wofly Technologie Spezialgasschränke Produkte

Ventile und Armaturen / Rohrleitungen hoher Reinheit

Shenzhen Wofly Technology VMB Ventilkonstruktion Rohrleitung

Abgasbehandlung (Scrubber)

Shenzhen Wofly Technologie Abgasreinigungsgeräte

Wofly-Technologie

Bereitstellung von Spezialdiensten im Bereich der Gassystemtechnik für die CVD-Industrie

Das vollautomatische Spezialgasschrank (GC) von Wofly Technology ist für die sichere und stabile Lieferung von hochreinen Spezialgasen ausgelegt.

Die 2011 gegründete Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. ist ein Hightech-Unternehmen auf nationaler Ebene und ein "Little Giant"-Unternehmen, das unter dem Spezialisierten, Verfeinerten, Unterscheidenden,und InnovationsprogrammDas Unternehmen verfügt über eine nationale Fachqualifikation für den Bau von mechanischen und elektrischen Anlagen und ist auf die Gasanwendungstechnik spezialisiert.Wofly Technology bietet End-to-End-Dienstleistungen für die CVD-Industrie, die von der technischen Beratung, der Gesamtplanung, dem Systemdesign, der Auswahl der Ausrüstung und der vorgefertigten Komponenten bis hin zur Installation vor Ort und zum Systemtest reichen.Der Geschäftsbereich umfasst elektronische Spezialgasleitungen, Laborgasversorgungssysteme, zentralisierte Gasversorgungssysteme, Schüttgassysteme, Sekundärleitungen für hochreine Gase und spezielle Prozessgase,sowie chemische Transfer- und Reinwassersysteme.

Shenzhen Wofly Technologie Spezialgassystemtechnik

Das von Wofly Technology unabhängig entwickelte vollautomatische Spezialgasschrank (GC) verfügt über einen PLC als Steuerkern und ist mit Sicherheitsschließungen, Leckenalarmen,und automatische Abschaltung; das Abgasreinigungssystem Scrubber sorgt für eine konforme Entsorgung der Prozessabgase;und die von Aofei Ke AFK® und Afklok® hergestellten Ventile und Armaturen erfüllen die Anforderungen für den Transport hochreiner MedienDie Lösungen von Wofly Technology wurden in Industriezweigen wie Halbleiter, TFT-LCD, Photovoltaik, Biopharmazeutika und Forschungsinstitute eingesetzt.Das Abgasreinigungssystem des Scrubbers stellt die letzte Garantie für die Einhaltung der Umweltvorschriften in CVD-Prozessen dar.