Das Produktionsverfahren von elektronischen Spezialitätengasen umfasst einige Prozesse wie Synthese, Reinigung, Füllung, Analyse und Prüfung, Mischen und Proportionierung. Um die Herstellungsbedingungen des abwärts gerichteten Halbleiters für Reinheit und Störstellengehalt zu erfüllen, ist der Reinigungsprozeß sehr wichtig. Abhängig von der Zusammensetzung des aufwärts gerichteten Synthesegases oder des Rohgases, wird Destillation der niedrigen Temperatur oder Mehrstufenreinigung durchgeführt.
Hohe Sauberkeitsanforderungen
Der Vorbereitungsprozeß von elektronischen speziellen Gasen kann in zwei bedeutende Blöcke aufwärts gerichtete Synthesevorbereitung und -reinigung unterteilt werden, die dem chemischen Produktionsverfahren gehört. Die Größe der Produktionsrohrleitung ist groß, und es gibt keine spezielle Sauberkeitsniveauanforderung. Nach abwärts gerichteter Reinigung wird das Produkt mit Gas gefüllt und gemischt für Vorbereitung. Die Produktionsrohrleitung ist klein und hat Sauberkeitsniveauanforderungen. Sie muss die Standardspezifikation des HalbleiterHerstellungsverfahrens treffen.
Hohe versiegelnde Anforderungen
Wegen ihrer chemischen Tätigkeit, setzen elektronische Spezialitätengase auch hohe Nachfragen auf die Materialien und das Versiegeln des Produktionsverfahrensystems. Gerade wie die Anforderungen der Halbleiterherstellung, verhindert es das Schnittstellendurchsickern, das durch die Einleitung von Verunreinigungen oder Korrosion von speziellen Gasen verursacht wird. Das System kann auch benutzt werden, um die Einleitung von Verunreinigungen oder das Durchsickern der Schnittstelle zu verhindern verursacht durch die Korrosion von speziellen Gasen.
Stabilitätsanforderungen der hohen Qualität
Die Qualität von elektronischen Spezialitätengasen umfasst einige Indikatoren wie Reinheits- und Verunreinigungspartikelinhalt. Jede mögliche Änderung in den Indikatoren beeinflußt die Ergebnisse des abwärts gerichteten HalbleiterHerstellungsverfahrens. Deshalb um die Übereinstimmung der elektronischen speziellen Gasproduktindikatoren sicherzustellen, ist das Vorbereitungsprozesssystem, um die Stabilität der Indikatoren zu steuern auch sehr wichtig.
Wegen der chemischen Tätigkeit und der Qualitätsanforderungen von EGP, das Produktionssystem für EGP-Vorbereitung, besonders das abwärts gerichtete Reinigungssystem, muss die Bedingungen von Materialien des hohen Reinheitsgrades, von hoher Dichtung, von hoher Sauberkeit und von Übereinstimmung der hohen Qualität erfüllen, und der Bau von ausgeführten Komponenten muss den Standards der Halbleiter Fertigungsindustrie entsprechen.
Was wir uns allgemein „hoher beziehen Reinheitsgrad“ ist theoretisch die Definition der Reinheit einer Substanz, wie Gase des hohen Reinheitsgrades, Chemikalien des hohen Reinheitsgrades, etc.-Prozesssysteme, oder Prozesssystemkomponenten, die Substanzen an den von hohem Reinheitsgrad, angewendet werden gekennzeichnet als auch von hohem Reinheitsgrad, wie Systeme von hohem Reinheitsgrad und als Ventile von hohem Reinheitsgrad. Elektronische Spezialitätengas-Vorbereitungssysteme erfordern Anwendungsinstallationen des hohen Reinheitsgrades, Ventile und andere flüssige Komponenten d.h. Installationen und Ventile, die mit Materialien des hohen Reinheitsgrades und sauberen Herstellungsverfahren verarbeitet werden, und werden für das einfaches Bereinigen und das Säubern strukturiert. Mit hoher versiegelnder Leistung. Diese flüssigen Komponenten sind entworfen, um den Prozessflussweg der Anwendung, unter Verwendung der Technik- und Bauanforderungen der Halbleiterindustrie zu treffen.
Hoher Reinheitsgrad-Pipe-Verbindungen
Videorekorder-Metalldichtungs-Gleitringdichtungsverbindungen und automatische Führerkolbenschweißungsverbindungen sind in den fordernden flüssigen Systemreinheitsprozessanforderungen wegen der Fähigkeit, fließenden Übergang des Flussweges an der Verbindung, keine Stagnationszone zu treffen weitverbreitet, und hohe Verbindungen der Dichtung performance.VCR bilden eine schmale Oberflächendichtung, indem sie eine verhältnismäßig weiche Metalldichtung verdrängen. Wiederholbare und konsequente Verbindungs- und Versiegelnleistung wird zugesichert, jedes Mal wenn die verformte Dichtung entfernt und ersetzt wird.
Rohre werden unter Verwendung eines automatischen schweißenden Augenhöhlensystems geschweißt. Das Rohr wird durch Gas des hohen Reinheitsgrades innen und außen geschützt. Die Wolframelektrode dreht sich entlang die Bahn für Schweißen der hohen Qualität. Völlig automatisiertes Augenhöhlenschweißen schmilzt das Rohr, ohne andere Materialien vorzustellen und erzielt eine Schweißung der hohen Qualität, indem es wiederholt dünnwandiges Rohr steuert, ist schwierig, mit manuellem Schweißen zu erzielen.
Videorekorder Metalldichtungs-Gleitringdichtungs-Verbindung
Automatische Augenhöhlenkolben-Schweißens-Verbindung von Rohren
Hoher Reinheitsgrad-Ventile
Die chemische Tätigkeit von brennbaren, explosiven, ätzenden und giftigen elektronischen Spezialitätengas-Platzhohen nachfragen auf der Dichtung des Ventils. Zwecks die versiegelnde Zuverlässigkeit, die Anforderung von packingless Ventilen verbessern, externes Durchsickern d.h. Schaltung des Ventilschafts und den Ventilkörper zu verhindern zwischen der Dichtung unter Verwendung der Federungskörper oder Metallmembran, um das Durchsickern wegen der Abnutzung und der Dichtungsringdeformation zu beseitigen. Balg-Siegel- und Membran-Siegelventile sind in den Prozesssystemen für Anwendungen von hohem Reinheitsgrad wegen der größeren Zuverlässigkeit der Dichtungen und der einfacheren Reinigung und des Reinigungsersatzes der Ventil internals allgemein verwendet.
Balg-Siegelventile sind ein packingless Nadelventilbau, der langsame Öffnung und Verkehrsregelung zulässt. Verwendet für das elektronische Spezialitätengas, das mit Sicherheitsflussanforderungen oder auf Vorläuferquellflaschen mit hohen Sicherheitsauflagen füllt. Die Ganzmetallstammumkippungsdichtungen lassen extrem - niedrige Betriebstemperaturen zu und werden für kälteerzeugende Verflüssigung von elektronischen Spezialitätengasen in den Endproduktbehältern nach kälteerzeugender Destillation für das Leiten verwendet.
Springless Membrandichtungs-Ventil ist- 1/4" Verschluss-offenes Ventil für Gebrauch als automatisch Umschaltventil in der Lieferungsrohrleitung. Sie sind im Ultra-hochdruck allgemein verwendet, Anwendungen in den von hohem Reinheitsgrad wegen ihres einfachen Weges des internen Flusses, im kleinen internen Volumen und in der Leichtigkeit des Bereinigens und des Ersatzes.
Membran-Siegelventile, die über das Stammumkippung schließen, können sich langsam öffnen und mit höherem Funktionierendruck als nicht-entsprungene Membran-Siegelventile verwendet werden. Sie sind auf elektronischen Spezialitätengasfüllungs- oder -vorläuferquellhochdruckflaschen weitverbreitet.
Das Sekundärdichtungsfaltenbalgventil kann in den ultra-niedrigen Temperaturprozesssystemen bei -200 Grad nicht nur benutzt werden, aber verhindert auch Durchsickern von gefährlichen Medien in die Atmosphäre. Normalerweise verwendet für sehr gefährliche elektronische spezielle Gase, wie füllendes System des Siliziumwasserstoffs.
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