Wofly Technology unterstützt die End-to-End-Zusammenarbeit entlang der gesamten Materialforschungs-, Entwicklungs- und Produktionskette mit seinen One-Stop-Spezialgas-Systemlösungen

Spezielle Gase legen den Grundstein; Kern und Kette gehen gemeinsam voran

Vom 9. bis 11. September 2026 fand die IICIE International Integrated Circuit Innovation Expo im Shenzhen World Exhibition & Convention Center (Bao'an) statt. Unter dem Motto „Branchenübergreifende Integration · Zusammenarbeit in der gesamten Kette: Gemeinsam ein unverwechselbares Chip-Ökosystem aufbauen“ deckte die Veranstaltung die gesamte Lieferkette ab, einschließlich Chip-Design, Wafer-Herstellung, Verpackung und Prüfung, Kernausrüstung und Schlüsselmaterialien. Halbleitermaterialien nehmen das vorgelagerte Segment der Industriekette ein. Elektronische Spezialgase, Fotolacke, Sputtertargets und CMP-Materialien bestimmen direkt die Geräteausbeute und die Prozessknoten; Ihre Reinheit, Stabilität und Versorgungssicherheit sind Voraussetzungen für Durchbrüche in fortschrittlichen Prozessen.

2026 IICIE International Integrated Circuit Innovation Expo

Das diesjährige IICIE bringt IDMs, Fabless-Unternehmen, Wafer-Foundries, OSATs sowie Hersteller von Halbleiterausrüstung und -materialien zusammen. Auf einer Ausstellungsfläche von mehr als 60.000 Quadratmetern präsentiert die Veranstaltung End-to-End-Produktlösungen, die Chip-Design, Wafer-Herstellung, fortschrittliche Verpackung und Tests, Kernausrüstung sowie Schlüsselmaterialien und -komponenten umfassen. Die Veranstaltung findet gleichzeitig mit der CIOE China International Optoelectronics Expo statt und schafft ein Super-Ausstellungsökosystem „Optoelektronik + Halbleiter“, das Fachbesucher aus nachgelagerten Anwendungsbereichen – darunter künstliche Intelligenz, Automobilelektronik, Kommunikation und Computer, Displays und neue Energie – anzieht, um Kontakte zu knüpfen und Geschäftsmöglichkeiten zu erkunden. Vor dem doppelten Hintergrund der Veränderungen im externen technologischen Umfeld und der Nachfrage nach inländischer Substitution bietet IICIE eine One-Stop-Plattform für im Inland hergestellte Halbleitermaterialien, -geräte und -komponenten – die alles von der technischen Validierung und der Anpassung der Lieferkette bis hin zur Anwendungsimplementierung abdeckt. Durch die Förderung einer intensiven Zusammenarbeit zwischen Upstream-Materialunternehmen, Midstream-Herstellern und Downstream-Endverbrauchern spielt die Veranstaltung eine wegweisende Rolle bei der Stabilisierung der inländischen Industriekette und Lieferkette für integrierte Schaltkreise sowie bei der Beschleunigung der Massenproduktionsvalidierung und Ökosystemreifung wichtiger Materialien.

1. Spezialgastransport: Wofly übernimmt die Führung

Forschung und Entwicklung von Halbleitermaterialien

In den Bereichen Materialforschung und -entwicklung sowie Massenproduktion sind Spezialgase, die in der Elektronikindustrie verwendet werden – wie Silan (SiH₄), Phosphin (PH₃), Arsenwasserstoff (AsH₃), Ammoniak (NH₃) und Stickstofftrifluorid (NF₃) – hochgiftig, entflammbar und stark ätzend. Sie müssen über spezielle Gasversorgungssysteme sicher, kontinuierlich und mit hoher Reinheit von der Gasquelle bis zum Prozessende geliefert werden. Als nationales High-Tech-Unternehmen positioniert sich Shenzhen Wofly Technology als Komplettlösungsanbieter für die Entwicklung von Gasanwendungssystemen und bietet professionelle Dienstleistungen und hochwertige Ausrüstung für den Sektor der Halbleitermaterialproduktion.

2. Design und Lieferung: Ein nahtloser Prozess aus einer Hand

Spezielles Gastransportleitungssystem

Technische Beratung, Systemdesign

Von Prozessgaslisten, Gasverbrauchspunktlasten und Sicherheitszonen bis hin zu Pipeline-Topologien bietet WoFei Technology umfassende Planung und Systemdesign und liefert PID-Diagramme, Stücklisten und Reinraumkonstruktionsspezifikationen für Multimediumsysteme mit Massengasen, Spezialgasen für die Elektronikindustrie und hochreinen Chemikalien.

Großgasleitungen

Spezielle Gasschrankbaugruppe – automatische Umschaltung

Unser unabhängig entwickelter, vollautomatischer Spezialgasschrank verfügt über eine SPS als Steuerungskern und ein Touchscreen-HMI, das den automatischen Wechsel zwischen zwei Flaschen, Drucküberwachung, Leckalarme und Notabschaltung ermöglicht. Es ist für den versiegelten Transport von brennbaren, explosiven und hochgiftigen Gasen wie Silan (SiH₄) und Phosphin (PH₃) konzipiert.

Spezielle Gasschränke, hergestellt von Wofly Technology

Ventile und Armaturen: Hochreine Steuerung

Ausgestattet mit hochreinen Steuerkomponenten wie den Druckminderventilen der Serie WR1200 und den Membranventilen der Serie MV4/MVH4 bestehen die Ventilkörper aus Edelstahl 316L mit elektrolytisch polierten Innenflächen. In Kombination mit VCR-Armaturen und Ferrulen-Armaturen minimieren diese Komponenten den Partikelgehalt und die Metallauswaschung, um den Prozessanforderungen gerecht zu werden.

Ventile und Armaturen von Wofly Technology

Rohrvorfertigung, Sekundärrohrleitungen

Vor-Ort-Rohrleitungen werden in einer sauberen Vorfertigungswerkstatt geschnitten, automatisch geschweißt und entlüftet und dann mithilfe von schienenmontiertem Schweißen zu den Schnittstellen der Prozessausrüstung neu verlegt. Die Aufzeichnungen zur Rückverfolgbarkeit von Rohrleitungsschweißungen sind überprüfbar und erfüllen die SEMI-Standards für Gasreinheit und Partikelkontrolle.

Reinraum der Klasse 1.000 von Wofly Technology

Abgasbehandlung: Reinigung vor Ort

Um Komponenten wie SiH₄, PH₃ und AsH₃ zu beseitigen, die im Prozessabgas nicht vollständig reagiert haben, wurde ein Local Scrubber-Abgasbehandlungssystem installiert. Dieses System nutzt Verbrennung, Wäsche oder Adsorption, um schädliche Bestandteile vor der Entladung auf Werte zu zerlegen, die den Emissionsnormen entsprechen, und so die Sicherheit von Personal und Umwelt zu gewährleisten.

Abgasbehandlungsausrüstung

Gasmischung, Ventilverteilung

Für die Forschung und Entwicklung von Halbleitermaterialien stellen wir Gasmischer und Ventilverteiler (VMB) bereit: Die Mischer mischen Trägergase wie N₂, Ar und H₂ präzise mit Reaktionsgasen gemäß Prozessrezepten; Die Ventilverteiler ermöglichen eine unabhängige Steuerung, Drucküberwachung und Notabschaltung für mehrere Gasauslässe im sekundären Rohrleitungsabschnitt.

VMB-Ventilkasten-Panel-Display

Installation und Inbetriebnahme; Systemtests

Nachdem die Installation vor Ort abgeschlossen war, führte WoFei Technology Heliumlecktests, Partikelgrößentests, Feuchtigkeits- und Sauerstoffgehaltsanalysen sowie Spülungen und Austausch durch, erstellte einen Systeminspektionsbericht, schloss die schlüsselfertige Übergabe ab und leistete anschließende Betriebs- und Wartungsunterstützung.

3. Gemeinsam Hand in Hand eine Zukunft aufbauen

Wofly-Technologie

Der Wettbewerb in der Halbleitermaterialindustrie hängt letztendlich von der Zuverlässigkeit jeder Gasversorgung, jeder Pipeline und jedes Ventilbetriebs ab. „Full-Chain Collaboration“ ist nicht nur ein Messethema; Es verlangt von vorgelagerten Materialherstellern, Midstream-Ausrüstungslieferanten und nachgelagerten Ingenieurdienstleistern, sich kontinuierlich an Standards, Schnittstellen und Prozessanforderungen anzupassen. Shenzhen WoFei Technology wird sich weiterhin auf die Entwicklung von Gasanwendungssystemen konzentrieren. Durch die Nutzung seiner Kompetenzen aus einer Hand in den Bereichen Systemdesign, Kernausrüstung, Installation vor Ort sowie Prüfung, Inbetriebnahme und Wartung wird das Unternehmen eine sichere, stabile und rückverfolgbare Grundlage für die Gaslieferung für die Forschung und Entwicklung sowie die Massenproduktion von Halbleitermaterialien bereitstellen und mit allen Parteien in der Industriekette zusammenarbeiten, um gemeinsam ein einzigartiges Halbleiter-Ökosystem aufzubauen.