Wofly Technologie VMB Ventil-Gliedverteilungskasse für Silane-Anwendungen

VMB-Ventilbaugruppen-Verteilerkasten für Silane

Doppelte Gewährleistung von Sicherheit und Präzision bei der Verteilung hochriskanter Spezialgase

01 Kernfunktionen

Single-Source-Multi-Path-Verteilung, unabhängige Zweigsteuerung

Die Ausrüstung kann eine einzelne Silangasversorgung aus einem vorgeschalteten Spezialgasschrank in mehrere unabhängige Versorgungszweige aufteilen, wodurch mehrere Prozesseinheiten gleichzeitig mit Gas versorgt werden, und unterstützt die individuelle Anpassung der Zweige nach Bedarf. Jeder Zweig ist mit einem unabhängigen Ein-/Aus-Ventil und einer Drucküberwachungseinheit ausgestattet, was eine separate Steuerung des Gasflusses und eine Abschaltung für Wartungszwecke ermöglicht. Die Wartung einer einzelnen Niederlassung beeinträchtigt nicht die normale Gasversorgung anderer Niederlassungen, wodurch das Risiko von Ausfallzeiten der Produktionslinie minimiert wird.

Inertspülung und Vakuumaustausch zur Gewährleistung der Betriebssicherheit

Das System verfügt über integrierte Spülleitungen für hochreinen Stickstoff (PN₂) und Vakuumextraktionsleitungen. Vor der Wartung der Zweigstelle, dem Hochfahren oder Herunterfahren der Ausrüstung oder der Demontage und Wiedermontage der Pipeline kann die Zielpipeline einer vollständigen Inertgasspülung und einem Vakuumaustausch unterzogen werden, um restliches Silangas gründlich aus den Leitungen zu entfernen und eine Selbstentzündung zu verhindern, die dadurch verursacht wird, dass Silan nach dem Öffnen des Ventils mit der Luft in Kontakt kommt. Dies entspricht vollständig den Sicherheitsanforderungen für den Betrieb von Silansystemen, die in den „Engineering Technical Standards for Special Gas Systems“ dargelegt sind.

Rohrleitungen aus Edelstahl der Güteklasse 316LEP

Echtzeit-Drucküberwachung und Sperrwarnungen bei abnormalen Zuständen

Jede Zweigleitung ist mit hochpräzisen Manometern und Drucksensoren ausgestattet, die die Druckbedingungen am Ein- und Auslass in Echtzeit anzeigen und die Konfiguration von Alarmen für obere und untere Druckgrenzen unterstützen. In Kombination mit pneumatischen Notabsperrventilen kann das System die entsprechende Nebenleitung – oder sogar die Hauptgasversorgung – schnell unterbrechen, wenn Risiken wie abnormaler Druck oder Gaslecks erkannt werden. Es löst akustische und visuelle Alarme aus und lässt sich in das zentrale Steuerungssystem der Anlage integrieren, um eine Notfallreaktion im Millisekundenbereich zu ermöglichen.

Unterdruckdichter Schutz, zentrale Leckkontrolle

Das System verfügt über eine vollständig geschlossene Schrankstruktur mit einer oberen Abluftöffnung und einem unteren Einlassgitter, um während des Betriebs einen stabilen Unterdruck im Schrankinneren aufrechtzuerhalten. Selbst im Falle eines Spurenlecks wird Silangas innerhalb des Schranks eingeschlossen und zentral über das Abgassystem zur Abgasbehandlungseinheit abgesaugt. Dadurch wird verhindert, dass sich das ausgetretene Gas in die Produktionshalle ausbreitet, und das Risiko einer Selbstentzündung und Vergiftung auf räumlicher Ebene wird eliminiert.

02 Kernfunktionen

Sicherheitsdesign speziell für Gase mit hohem Risiko

Das System ist speziell für die Selbstentzündungs- und Explosionseigenschaften von Silan optimiert und kann mit integrierten Silan-Gasdetektoren und Flammenerkennungsgeräten ausgestattet werden. Alle elektrischen Komponenten entsprechen den Explosionsschutzspezifikationen und der mehrschichtige Sicherheitsverriegelungsmechanismus entspricht vollständig den Kontrollstandards für Hochrisiko-Spezialgase und übertrifft das Sicherheitsniveau von Standard-Inertgas-VMBs bei weitem.

Hochreine Gasversorgung in Elektronikqualität

Alle Durchflusskomponenten bestehen aus Edelstahl der Güteklasse SS316L EP mit elektrolytisch polierten Innenflächen. Die Rohrleitungen werden mithilfe eines vollautomatischen Schienenschweißverfahrens hergestellt, sodass keine toten Ecken entstehen und keine Partikel freigesetzt werden. Ventile werden einem Helium-Lecktest mit einer Leckrate von ≤1×10⁻⁹ atm・cc/s unterzogen. Dadurch wird gewährleistet, dass die Reinheit des Silangases während des gesamten Prozesses kompromisslos erhalten bleibt und die Anforderungen hochpräziser Fertigungsprozesse erfüllt werden.

Das bodenstehende Design bietet hervorragende Anpassungsfähigkeit

Das bodenstehende Halterungsdesign bietet eine höhere Tragfähigkeit und macht eine Wandmontage überflüssig. Es kann flexibel in verschiedenen Umgebungen positioniert werden, beispielsweise in der Nähe von Reinräumen oder entlang von Spezialgaskorridoren, wodurch es im Vergleich zu wandmontierten VMBs besser an komplexe Produktionslinienlayouts angepasst werden kann.

VMB-Innenventile / Membranventile / Manometer

03 Kernanwendungsszenarien

Herstellung von Halbleiterwafern

Dieses System ist mit Dünnschichtabscheidungsprozessen wie PECVD, LPCVD und ALD in Waferproduktionslinien kompatibel und verteilt Silangas präzise auf mehrere Beschichtungsgeräte, um die Prozessstabilität für die Siliziumnitrid- und Siliziumoxidfilmabscheidung sicherzustellen. Es erfüllt auch die Sicherheitskontrollanforderungen für Hochrisikogase in Reinräumen und ist damit die Standardkonfiguration für die Sekundärverteilung von Spezialgasen in Waferfabriken.

Produktion von Photovoltaikzellen

Dieses System wird häufig in Produktionslinien für hocheffiziente Zellen wie TOPCon, HJT und Heterojunction eingesetzt und ermöglicht die Verteilung von Silangas auf mehrere Maschinen während der Abscheidung und Dotierung von Dünnfilmen auf Siliziumbasis. Es erfüllt den kontinuierlichen Gasversorgungsbedarf von Photovoltaik-Produktionslinien mit hoher Kapazität und bietet gleichzeitig Flexibilität für Liniennachrüstungen und -erweiterungen, wodurch Kosten gesenkt und die Effizienz verbessert werden.

- VMB -

Herstellung von Displays und Optoelektronik der nächsten Generation

Wir beliefern Produktionslinien für TFT-LCD-, AMOLED- und Mini/Micro-LED-Anzeigetafeln sowie Bereiche wie optische Faservorformen und Verbindungshalbleiter und bieten eine stabile und kontrollierbare Silanabgabe und -abgabe für Dünnschichtabscheidungs- und Ätzprozesse, zugeschnitten auf die groß angelegten Gasversorgungslayouts mit mehreren Maschinen in Produktionslinien mit hoher Generation.

Forschungsinstitute und Prüflabore

Bietet kleinräumige Silanverteilungslösungen für Plattformen für Materialforschung und -entwicklung sowie Prozessvalidierung in Universitätslabors und Forschungseinrichtungen und bringt Betriebssicherheit mit Präzision der Gasversorgung in Einklang, um den Anforderungen von experimentellen Gasanwendungen in kleinen Mengen und unter mehreren Bedingungen gerecht zu werden.

Vorteile von WoflyProdukte und Dienstleistungen der Technologie

1. Eigene Forschung und Entwicklung sowie Fertigung mit hervorragenden Anpassungsfähigkeiten

Als landesweites High-Tech-Unternehmen und „spezialisiertes, raffiniertes, unverwechselbares und innovatives“ Unternehmen verfügt Wofly Technology über unabhängige Forschungs-, Entwicklungs- und Fertigungskapazitäten. Das Unternehmen hat eine eigene 8.000 Quadratmeter große Produktionsbasis mit Reinraum-Montagewerkstätten der Klassen 100 und 1.000 eingerichtet. Der gesamte Produktionsprozess für die gesamte VMB-Produktserie – vom Lösungsdesign und der Ventilmontage bis hin zu Tests und Versand – wird im eigenen Haus durchgeführt. Die Produkte können vollständig an spezifische Kundenanforderungen hinsichtlich der Anzahl der Gasauslässe, Druckparameter, Steuermodi und Installationsszenarien angepasst werden und so den Anforderungen von Produktionslinien in verschiedenen Branchen und Größenordnungen gerecht werden.

Innenansicht des speziell für Silane entwickelten VMB

2. Vollständige Qualifikationen und garantierte Compliance

Das Unternehmen verfügt über eine Fachqualifikation als Bauunternehmer für mechanische und elektrische Installationsprojekte, eine GC2-Qualifikation für die Planung und Installation von Druckleitungen sowie eine Arbeitssicherheitsgenehmigung. Unsere Produkte haben mehrere Zertifizierungen erhalten, darunter CE und ISO 9001. Design und Herstellung halten sich strikt an nationale Standards für spezielle Gastechnik, wie z. B. GB 50646. Alle Geräte werden vor Verlassen des Werks einer umfassenden Helium-Leckprüfung und Funktionsprüfung unterzogen, um sicherzustellen, dass sie bei Lieferung für den konformen Betrieb bereit sind.

Eine Tour durchWoflyDer Reinraum der Klasse 1.000 von Technology

3. One-Stop-Service für die gesamte Industriekette

Wofly Technology geht über die einfache Lieferung einzelner Geräte hinaus und bietet eine umfassende Lösung aus einer Hand, die den gesamten Prozess abdeckt – von der Planung einer Spezialtankstelle über die Installation der Hauptleitung und die Anordnung des VMB-Verteilungsknotens bis hin zur Endpunktverrohrung. Diese Lösung umfasst den gesamten Lebenszyklus, einschließlich technischer Beratung, Systemdesign, Vorfertigung und Installation, Prüfung und Abnahme sowie Betriebs- und Wartungsschulung. Kunden müssen sich nicht mit mehreren Lieferanten abstimmen, was die Kosten für Projektkommunikation und -verwaltung erheblich senkt.

Innenansicht des speziell für Silane entwickelten VMB

4. Über ein Jahrzehnt Branchenexpertise und umfassende Implementierungserfahrung

Mit über einem Jahrzehnt fundierter Expertise im Bereich Spezialgase für die Elektronikindustrie decken unsere Dienstleistungen zahlreiche Sektoren ab, darunter Halbleiter, Photovoltaik, Biopharmazeutika und Forschungsinstitute. Wir haben Hunderte von Spezialprojekten für die Gassystemtechnik erfolgreich umgesetzt. Unser Kernteam verfügt über umfassende Erfahrung in der Planung und dem Bau von Hochrisiko-Spezialgassystemen, sodass wir schnell auf Kundenbedürfnisse reagieren und optimale Lösungen anbieten können, die auf die tatsächlichen Betriebsbedingungen zugeschnitten sind.

WoflyVMB- und Spezialgasschrank-Schaufenster von Technology

Als „Endpunktknotenpunkt“ elektronischer Spezialgassysteme ist der silanspezifische VMB eine entscheidende Komponente für die Gewährleistung einer sicheren, stabilen und hochreinen Gasversorgung der Produktionslinien. Wofly Technology wird der Technologie weiterhin Priorität einräumen und seine Produkte iterativ für verschiedene risikoreiche Spezialgas-Betriebsbedingungen optimieren, um der High-End-Fertigungsindustrie zuverlässigere und maßgeschneiderte Spezialgas-Systemlösungen zu bieten.