WOFLY stellt hochsicheren Silan-Ventilverteilerkasten (VMB) zur Unterstützung der Halbleiter- und PV-Herstellung vor

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (WOFLY), ein führender Anbieter von ultrahochreinen Gasversorgungssystemen, hat seine spezielle Silan-Ventil-Verteilerbox (VMB) offiziell auf den Markt gebracht. Dieses neue System wurde speziell für die Verteilung gefährlicher Spezialgase entwickelt und bietet eine doppelte Garantie für Sicherheit und Präzision für geschäftskritische Prozesse in der Halbleiter-, Photovoltaik- und Optoelektronikindustrie.

Silan (SiH₄) ist ein Grundstein der modernen Elektronikfertigung, birgt jedoch aufgrund seiner pyrophoren und explosiven Natur extreme Risiken. Die neue VMB-Serie von WOFLY begegnet diesen Herausforderungen durch eine Kombination aus struktureller Innovation und intelligenten Sicherheitskontrollen.

Erweiterte Verteilung und unabhängige Kontrolle

Der WOFLY VMB ist so konzipiert, dass er eine einzelne vorgeschaltete Gasquelle in mehrere unabhängige Verteilungszweige aufteilt und mehrere Prozessanlagen gleichzeitig mit Gas versorgt. Jeder Zweig verfügt über unabhängige Absperrventile und Drucküberwachungseinheiten, die eine isolierte Wartung und Fehlerbehebung ermöglichen, ohne den Betrieb anderer Produktionslinien zu unterbrechen.

Kernsicherheitsmerkmale und technische Exzellenz

1. Inertes Spül- und Verdrängungssystem

Ausgestattet mit integrierten Spül- und Vakuumleitungen für hochreinen Stickstoff (PN2). Dadurch wird eine gründliche Entfernung des restlichen Silans vor Wartungsarbeiten oder Geräteänderungen gewährleistet, wobei die Sicherheitsstandards strikt eingehalten werden, um eine Selbstentzündung bei Luftkontakt zu verhindern.

2. Echtzeitüberwachung und Verriegelungsalarme

Integrierte hochpräzise Drucksensoren und Messgeräte ermöglichen eine Reaktion im Millisekundenbereich. Das System ist mit pneumatischen Notabsperrventilen und Anlagenkontrollzentren verbunden und löst eine sofortige Isolierung aus, wenn Druckanomalien oder Lecks festgestellt werden.

3. Unterdruckgehäuse

Das vollständig geschlossene Gehäuse aus 316L-Edelstahl sorgt für einen stabilen Unterdruck. Eventuelle Spurenlecks werden begrenzt und sicher über ein zentrales Abgassystem zu einer Abgasreinigungseinheit abgesaugt, wodurch Risiken für die Werkstattumgebung ausgeschlossen werden.

4. Reinheit in elektronischer Qualität

Alle medienberührten Komponenten bestehen aus Edelstahl der Güteklasse SS316L EP (elektropoliert). Mithilfe des automatischen Orbitalschweißens gewährleistet das System eine saubere, partikelfreie Umgebung mit einer Heliumleckrate von ≤ 1×10⁻⁹ atm·cc/s und bewahrt so die Integrität von hochreinem Gas.

Umfangreiche Branchenanwendungen

Die Vielseitigkeit und das robuste Design des WOFLY Silane VMB machen ihn zur Standardkonfiguration für:

- Halbleiter-Wafer-Fabrik:Unverzichtbar für Dünnschichtabscheidungsprozesse wie PECVD, LPCVD und ALD.

- Produktion von Photovoltaikzellen:Weit verbreitet in hocheffizienten Zelllinien wie TOPCon und HJT für die Silizium-basierte Filmabscheidung.

- Fortschrittliche Display-Herstellung:Unterstützt die Produktion von TFT-LCDs, AMOLEDs und Mini/Micro-LEDs.

- Forschung und Labore:Bereitstellung einer präzisen Verteilung in kleinem Maßstab für Materialforschung und -entwicklung sowie Prozessüberprüfung.

„Sicherheit und Reinheit sind bei der Handhabung von Spezialgasen nicht verhandelbar“, sagte der technische Direktor von WOFLY. „Unser neues Silane VMB ist nicht nur ein Verteilerkasten; es ist ein umfassender Sicherheitsschutz, der es unseren Kunden ermöglicht, ihre Produktion mit absoluter Sicherheit zu skalieren.“

Weitere Informationen zum Silan-VMB oder zur Erkundung unseres gesamten Angebots an Gashandhabungslösungen finden Sie auf unserer Website unterwww.szwofly.comoder kontaktieren Sie uns unter info@szwofly.com.

Über WOFLY

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (AFK/WOFLY) ist ein spezialisierter Hersteller und Ingenieursbetrieb, der sich auf hochreine Gasversorgungssysteme konzentriert. Mit über einem Jahrzehnt Erfahrung beliefert WOFLY die globale High-Tech-Industrie mit hochpräzisen Reglern, VMBs, Gasschränken und integrierten Rohrleitungslösungen.