AFK Automatisches Spezialgasschrank Feuerfähiges Sprengstoff-Korrosions- und Giftgasübertragungsschrank

Spezieller Gashalter (GC)

Das spezielle Gastransmissionsschrank ist ein Versorgungssystem, das speziell für die Versorgung mit brennbaren, explosionsfähigen, ätzenden, giftigen und anderen gefährlichen Gasen ausgelegt ist.Halbautomatischer und manueller Betrieb nach den KategorienDie Grundfunktionen umfassen automatisches Säubern, automatisches Schalten und automatisches Sicherheitsschalten im Notfall (wenn das eingestellte Alarmsignal ausgelöst wird).Der vollautomatische Gashalter wird per SPS gesteuert.Durch den Drucksensor, das Pneumatikventil, den Durchflussmesser und andere in der Ausrüstung eingebaute Geräteder sichere und wirksame Betrieb der Ausrüstung realisiert wird. The safety interlock function of its internal PLC program design and the reasonable selection and layout of high-purity valves not only meet the requirements of continuous supply of special gas and high purity in the production process of semiconductor technology, aber auch die normale Produktion der Fabrik und die persönliche Sicherheit der Mitarbeiter gewährleisten.

Anwendbare Gase
brennbare, ätzende und toxische Gase wie SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl usw.

Anwendbare Branchen
Halbleiter, TFT, Solar, LED und andere Fabriken.

Grundkonfiguration der Platte:
Hochdruckdiaphragmaventile

Hochdruckabgasventil

Abtrennungsventil

Niederdruckabgasventil

Niederdruckdiaphragmaventil

Prüfventil Vakuumgenerator

Regler-Druckmessgerät

Erster Stufe Dichtungsfilter

Sekundärfilter

Optionale Panelkonfiguration:
Hohendruck-N2-Ventil

Notfallverschlussventil

Versuchsventil

Sicherheitsventil

Überflussschalter

Anzeige des Druckschalters

PT

Häufig gestellte Fragen

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