Spezielle Gasgeräte werden häufig in der Halbleiter-Photovoltaik-Elektronik verwendet

Beschreibung des Produkts:
Spezielles Gasförderschrank ist für die Versorgung von brennbaren und explosionsfähigen, ätzenden, giftigen und anderen gefährlichen Gasversorgung und -versorgung ausgelegt, kann nach Kategorie in folgende Teile unterteilt werden:vollautomatischDie grundlegenden Funktionen umfassen das automatische Blasen, automatic switching and automatic safety cut-off in case of emergency (when the set alarm signal is triggered) The fully automatic gas cabinet realizes the safe and effective operation of the equipment by adopting the PLC control and touch screen as the man-machine interface, und mit Hilfe der auf der Ausrüstung angebrachten Drucksensoren, Pneumatikventile, Überflussmessgeräte usw.Die interne Steuerung, die für den sicheren und wirksamen Betrieb der Ausrüstung programmiert ist, ist für die Zufuhr gefährlicher Gase wie z. B. brennbarer, explosionsfähige, ätzende und giftige Stoffe. Its internal PLC programmed safety interlock function and the reasonable selection and layout of high purity valves not only satisfy the requirements of continuous supply of special gases and high purity in the production process of semiconductor process, aber auch die normale Produktion der Fabrik und die persönliche Sicherheit der Mitarbeiter gewährleisten.

Gase: Entflammbare, ätzende und giftige Gase wie SiH4, NF3, NH3, N2O, HCI usw.

Eigenschaften:

Abhängig von der spezifischen Konstruktion der Situation des Kunden können folgende Sicherheitsausrüstungen in das Gasfach integriert werden:
1 Der Gasschrank verfügt über eine sich selbst schließende Tür mit mechanischem Schloss.
2 Die Gaskammer ist mit einem Sprinklerkopf zu versehen, es sei denn, das Wasser in der Gaskammer reagiert mit dem Gas im Inneren der Gaskammer.
3 Störungs- und Stillstandsalarme warnen den Bediener durch akustische und visuelle Alarme sowie durch die Anzeige auf dem Steuerbildschirm.der Abschaltmelder schließt das Pneumatikventil und beendet das Steuerungsprogramm.
4 Ein Überflussschalter ist installiert, um den Bediener im Falle eines übermäßigen Gasstroms nachgelaufen zu alarmieren.
5 Es ist ein Abgasmessgerät zu installieren, um zu überwachen, ob der Schrank ausreichend belüftet ist.
⑥ A diaphragm coupled pressure reducing valve is selected to automatically close the pressure reducing valve if the gas downstream pressure is higher than the pressure reducing valve set pressure because the diaphragm of the pressure reducing valve is mechanically coupled to the valve stemEs ist zu beachten, dass der Druckminderventilsitz bei Beschädigung, Korrosion oder Verunreinigung undicht sein kann.
⑦ A flow-restricting orifice fitting installed in the cylinder valve or cylinder connector greatly reduces the increase in gas flow caused when downstream equipment fails (supplied by the gas supplier).
8 Für Systeme mit Selbstverbrennungsgasen ist ein UV/Infrarotdetektor erforderlich.
9 Bei brennbaren Gassystemen ist ein Temperaturschalter erforderlich.
10 Die manuelle Bedienung wird bei einem Abschaltmelder deaktiviert.
Der Notbremsknopf befindet sich auf der Steuerung.

Technische Parameter:

Anwendungen:

Anwendbare Industriezweige: Halbleiter, TFT, Sun Solar, LED und andere Fabriken.

Häufige Fragen:

F: Was ist ein spezieller Gasschrank?
Ein Spezialgasschrank ist eine Art Ausrüstung zur Spezialgasspeicherung und -abgabe, die üblicherweise in Halbleiter-, Photovoltaik-, Elektronik- und anderen Industrien eingesetzt wird.Es kann Spezialgase sicher verwalten und genau steuern, um die Qualität und Versorgungsstabilität der Gase zu gewährleisten.

F: Welche Arten von Spezialgasschränken gibt es?
Es gibt hauptsächlich manuelle, halbautomatische und vollautomatische Spezialgasschränke.
 

F: Was sollte ich bei der Installation eines speziellen Gasschranks beachten?
Die Anlage sollte an einem gut belüfteten, trockenen Ort ohne Feuerquelle errichtet werden.
Sicherstellen der Stabilität der Ausrüstung während der Montage, Vermeidung von Neigung oder Schütteln.
Die Verbindungsschläuche sollten aus Materialien bestehen, die den Anforderungen entsprechen, und sicherstellen, dass sie fest verbunden sind und keine Leckagen aufweisen.

F: Wie kann der spezielle Gasschrank richtig benutzt werden?
Vor dem Gebrauch sollten Sie die Bedienungsanleitung des Geräts sorgfältig lesen, um die Leistung und die Bedienung des Geräts zu verstehen.
Gastransport und -kontrolle gemäß den angegebenen Betriebsverfahren durchführen, um Fehlbetrieb zu vermeiden.
Regelmäßige Überprüfung und Wartung der Ausrüstung, um den normalen Betrieb der Ausrüstung sicherzustellen.

F: Wie kann der sichere Betrieb des Spezialgasschranks gewährleistet werden?
Gasleckage-Erkennungseinrichtungen installieren, um Leckagen zu erkennen und rechtzeitig Maßnahmen zu ergreifen.
Ausbilden von Betreibern zur Verbesserung des Sicherheitsbewusstseins und der Betriebskompetenz.
Regelmäßige Sicherheitsüberprüfung und Wartung der Ausrüstung zur Gewährleistung der Sicherheitsleistung der Ausrüstung.

F: Welche Wartungsarbeiten sind für den Spezialgasschrank erforderlich?
Überprüfen Sie regelmäßig, ob die Ausrüstung versiegelt ist, um sicherzustellen, dass keine Leckagen auftreten.
Reinigen Sie die Oberfläche der Ausrüstung, damit sie sauber und hygienisch ist.
Überprüfen Sie den Verschleiß von Ventilen, Rohren und anderen Teilen und ersetzen Sie beschädigte Teile rechtzeitig.

F: Wie ist der Wartungszyklus des Spezialgasschranks?
Wartungszyklus je nach Häufigkeit des Einsatzes der Ausrüstung und Umweltbedingungen, allgemein alle sechs Monate bis zu einem Jahr empfohlen für eine umfassende Wartung.

F: Was ist zu tun, wenn die Gaskammer nicht funktioniert?
Zuerst hören Sie auf, die Ausrüstung zu benutzen, und schneiden Sie die Gasversorgung ab.
Überprüfen Sie das Fehlerphänomen und bestimmen Sie die Ursache des Fehlers.
Entsprechend der Fehlerursache geeignete Fehlerbehebungsmaßnahmen ergreifen, z. B. beschädigte Teile austauschen, elektrische Störungen reparieren usw.