Zusammengesetzte, explosionssichere Gasschränke unter positivem Druck Silane und Ethylen

Produktübersicht

Der maßgeschneiderte Überdruckschrank aus Verbundwerkstoff von Afklok integriert drei zentrale explosionsgeschützte Technologien: Überdruckschutz, eigensicheren Stromkreis und druckfeste Kapselung. Es handelt sich um ein umfassendes explosionsgeschütztes Gasversorgungssystem, das speziell für brennbare und gefährliche Prozessgase entwickelt wurde.
Mit seiner fortschrittlichen kompakten Struktur, der intuitiven visuellen Bedienung und den vollautomatischen Sicherheitsverriegelungsfunktionen entspricht dieser Schrank vollständig den strengen Explosionsschutznormen für die Halbleiter- und Chemieindustrie. Es gilt für Standorte mit explosionsfähigen Gasgemischen der Klasse IIA–IIC, T1–T4 (Zone 1, Zone 2) sowie für explosionsgefährdete Bereiche mit brennbarem Staub (Zone 21, Zone 22). Entwickelt für die sichere Abgabe und Kontrolle von pyrophoren, brennbaren und erstickenden Spezialgasen wie Silan, Ethylen und Stickstoff.

Hochreiner kundenspezifischer Gaskreislauf, konform mit Halbleiterprozessstandards
Der interne Gaskreislauf verwendet eine hochreine Rohrleitung aus Edelstahl 316L der Güteklasse BA/EP und unterstützt die unabhängige Verwaltung des Gaskreislaufs für SiH4-Silan, C2H4-Ethylen und N2-Stickstoff. Kombiniert mit Präzisionsdruckreglern, Membranventilen, Manometern und Stickstoff-Vakuum-Spülschleife. Das transparente Beobachtungsfenster ermöglicht eine visuelle Echtzeitkontrolle des Pipeline-Betriebsstatus, praktisch für die tägliche Inspektion, Dichtheitsprüfung und Gaswechselvorgänge.
Der interne Gaskreislauf besteht aus hochreinen Edelstahlrohren der Güteklasse BA/EP 316L, die den Standards der Halbleiterindustrie entsprechen und die unabhängige Steuerung mehrerer Prozessgase, einschließlich SiH4-Silan, C2H4-Ethylen und N2-Stickstoff, unterstützen. Zum passenden Zubehör gehören Präzisionsdruckregler, hochreine Membranventile, Manometer und Stickstoff-Vakuumspülschleifen. Das transparente Sichtfenster an der Vorderseite ermöglicht eine visuelle Echtzeitprüfung des Pipelinestatus und erleichtert so die tägliche Patrouille, Leckageprüfung und Gaswechselvorgänge. Keine Kontamination sorgt für eine stabile, hochreine Prozessgasversorgung.

Vollständig maßgeschneiderte Lösungen, breite Abdeckung industrieller Produktionsszenarien
Wir unterstützen eine vollständige Anpassung an die Prozessanforderungen des Kunden: einstellbare Gaskanalmenge, Gasart, Schrankgröße, Explosionsschutzklasse und Signalausgangsfunktion. Der Schrank kann mit dem zentralen Steuerungssystem des Werks verbunden werden, um einen Fernalarm und eine Notabschaltung zu ermöglichen. Weit verbreitet in der Herstellung von Halbleiterwafern, der Produktion von Photovoltaikzellen, LCD/OLED-Displays, Feinchemikalien, Laboren für neue Materialien und gefährlichen Werkstätten für die Herstellung von Lithiumbatterien.
Basierend auf den Anforderungen Ihrer Produktionslinie ist ein vollständiger Anpassungsservice verfügbar: einstellbare Gaskreismenge, kompatible Gastypen, Schrankabmessungen, Explosionsschutzklassen und Funktionen zur Fernsignalausgabe. Der Schrank kann mit zentralen Steuerungssystemen des Werks verbunden werden, um Fernalarm und Notgasabschaltung zu unterstützen. Es wird häufig in explosionsgefährdeten Bereichen eingesetzt, darunter Halbleiterwaferfabriken, Produktionslinien für PV-Zellen, Werkstätten für LCD/OLED-Panels, Spezialgasverteilungsräume für Feinchemieanlagen, Hochrisikolabore für die Erforschung neuer Materialien und Produktionsanlagen für Lithiumbatterien.

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